三维表面形貌测量仪特点：
一款的3D光学测量仪
InfiniteFocus G5整合了微型三坐标测量系统和表面粗糙度测量系统所有的功能。
和
LED环形灯的设计，使表面测量的范围几乎不受限制。
高分辨，高可重复性和可溯源
即使对于复杂样品表面，仍可以获得高达10纳米的垂直分辨率
高测量速度
InfiniteFocus的测量速度可以达到170万点/秒。
模块化和可扩展性
新的功能可以很容易通过扩展测量模式整合
全自动
测量简单且自动化程度高，如自动更换物镜等